应用场景
不同晶型的氧化镓性能差异较大，采用超细金刚石磨料与优化陶瓷结合剂，可实现不同晶型的氧化镓衬底粗磨、精磨，磨削稳定、磨损小，为新型宽禁带半导体器件生产提供技术支撑。
· 高的自锐性，不易堵塞，可以稳定磨削
· 锋利度好，保证低应力、低损伤加工
· 发热明显，砂轮散热好、避免热裂纹
· 端面精度高，保证减薄均匀、TTV 小
型号规格
6A2T
规格 | D | T | H | X | W | 结合剂 | 粒度 |
6A2T | 209 254 | 30 | 95 155 158 | 5 7 | 2 3 4.5 4 | B V | 2000 8000 |
磨削工件 | Ga₂O₃片 |
工件尺寸 | 2 英寸（键合在 4 寸片上） |
砂轮规格 | 6A2T D313 (12 寸) V 2000 |
磨耗比 (砂轮：工件) | 1:8 |
TTV | ≤2μm |
