应用场景
采用陶瓷 / 树脂结合剂,适配 IC 封装阶段,表面粗糙度 Ra≤2nm,TTV≤3μm,铝合金基体导热耐腐蚀,转速适配 1000-3500r/min,进给速度 1.0-1.4μm/s,适配主流设备。
· 超高速、大余量去除
· 极低亚表面损伤 (SSD)
· 高平面度、低 TTV
· 自锐性极强、不钝化
· 超轻磨削力、低应力
· 零金属污染
型号规格

6A2T
规格 | D | T | H | X | W | 结合剂 | 粒度 |
6A2T | 209 254 313 | 30 | 95 155 158 237 | 5 7 | 2 3 4.5 4 | B V | 325 2000 30000 60000 |
磨削工件 | Si 片 |
工件尺寸 | 12 英寸 |
| 砂轮规格 | 6A2T D313 (12 寸) V 60000 |
| 表面质量 | 表面磨纹均匀一致 |
| 粗糙度 | ≤2nm |
| TTV | ≤2μm |
| Warp | ≤10μm |
| Bowl | ≤2μm |