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晶圆信息 (部分必填)

晶圆
尺寸

晶圆
材质

厂家
/型号

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目标厚度
/μm

晶圆
类型

(选填)

是否
贴膜

膜厚
/μm

初始厚度
/μm

机台信息（全部必填）

品牌
型号

主轴
类型

气浮或

机械

主轴功率/kw

空载
电流/A

客户要求或预期指标

磨耗比

电流/A

最大：
最优：

其他
指标

Ra/nm

TTV
/μm

Bow
/μm

Warp
/μm

其他特殊要求（包含特殊装夹方式或者颗粒/划痕等特殊要求）

现用/已测砂轮产品情况（砂轮品牌、目数、加工参数、目前存在问题等信息）