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减薄砂轮测试信息采集表 – 江苏号角精密科技有限公司 1. 用户测试前须进行砂轮图纸确认！【砂轮尺寸（必填）： 寸】 | ||||||||||||||||||||||||||
用户名称 | 联系方式 | |||||||||||||||||||||||||
填表日期 | ||||||||||||||||||||||||||
晶圆信息 (部分必填) | ||||||||||||||||||||||||||
晶圆 | 晶圆 | 厂家 | (选填) | 目标厚度 | ||||||||||||||||||||||
晶圆 | (选填) | 是否 | 膜厚 | 初始厚度 | ||||||||||||||||||||||
机台信息（全部必填） | ||||||||||||||||||||||||||
品牌 | 主轴 | 气浮或 机械 | 主轴功率/kw | 空载 | ||||||||||||||||||||||
客户要求或预期指标 | ||||||||||||||||||||||||||
磨耗比 | 电流/A | 最大： | 其他 | |||||||||||||||||||||||
Ra/nm | TTV | Bow | Warp | |||||||||||||||||||||||
其他特殊要求（包含特殊装夹方式或者颗粒/划痕等特殊要求） | 现用/已测砂轮产品情况（砂轮品牌、目数、加工参数、目前存在问题等信息） | |||||||||||||||||||||||||