性能优势
● 微气孔陶瓷结合剂实现高效磨削
● 精筛磨料粒度，获得低损伤和良好的表面质量
● 多种粒度，多种结合剂可选择，满足不同材料和不同精度产品加工要求
●响应速度快，快速迭代新材料磨削方案
产品参数
应用场景
硅晶圆，SIC 晶圆，氮化镓，铌酸锂等材料的减薄磨削。
磨削案例
| 磨削工件 | SIC衬底 |
| 工件尺寸 | 6寸 |
| 砂轮尺寸 | D313(12寸) V 8000# |
| 砂轮转速 | 2803 |
| 承片台转速 | 221 |
| 进给速度 | 0.6/0.4/0.3 |
| 磨耗比 | 1:1 |
| 粗糙度 | 外周1.5 中心1.0 |
| ttv | ≤3μ |